產品特點

Field系列全固態射頻電源采用全固態它激式平衡射頻功放技術，工作頻率范圍為1MHz-400MHz，功率范圍從10KW至30KW，是為半導體生產制造和太陽能光伏生產制造設計的新一代功率源，主要應用包括射頻濺射，反應離子刻蝕，射頻偏置，多態等離子體，等離子體表面處理，射頻激勵CO2激光器系統和電感耦合等離子體系統等。

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Field系列全固態射頻電源的優勢：

1：高功率密度，在一個標準19英寸寬、4U(178mm)高的機箱內集成了高達12KW的射頻輸出功率，并且交流轉直流的直流電源也在其中，減小了對客戶使用時場地的要求。

2：快速智能的駐波（VSWR）保護功能，Field系列射頻電源的駐波保護能在負載出現異常后毫秒級的時間內快速啟動，可以及時的可靠的保護射頻電源不因負載的異常而損壞。

3：高可靠性高穩定性，我們富有經驗的工程師精心設計的射頻功放在任何負載下都能穩定的輸出，負載在全Smith圖上無雜波。

4：先進的射頻功率測量系統，Field系列射頻電源的測量系統采用基于FPGA的數字中頻測控技術，能達到最嚴苛的半導體制程的功率精度要求。

5：先進的控制系統，Field系列射頻電源功率控制系統采用雙PID控制算法，能精確的穩定的控制射頻電源的輸出功率。

6：智能的滅弧控制系統，可以通過參數設置準確的識別電弧。

7：支持掃頻。

8：雙PID、支持多級脈沖。

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Field系列射頻電源通過遠程控制（使用Analog I/O 端口、串口或者網口控制）